[hf20222999]纳米加工服务成交公告
· 2022-10-18
1.项目名称：纳米加工服务
2.成交供应商名称：中国科学院半导体研究所
3.成交供应商地址：北京市海淀区清华东路甲35号
4.成交金额(人民币)：14.8万元
5.付款方式：合同签订后支付合同总金额的30%，服务完成且验收合格后支付合同总金额的70%。
6.主要成交标的：
序号 | 服务内容 | 服务期限 |
1 | 在供应商的半导体加工平台上实现如下内容：激光切割、电子束光刻、刻蚀、PECVD、磁控溅射、原子力显微镜等。 | 2022.11.20之前完成加工服务 |
华中科技大学人工智能与自动化学院
2022年10月18日
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